FAT Probeシステムと一言で言っても沢山のユニットから成り立つ。そのユニットとは
■DC測定ユニット
■キャパシタンス測定ユニット
■超微小電流測定ユニット(<1pA)
■Lava測定ユニット
■Lsw・RBSOA測定ユニット
■男プローブ(静特性)ユニット
■Lavaウェハー測定ユニット(CLT)
■オート/セミオートプローバコントロールユニット
■テストフィクスチャーユニット
などがあり、それ以外にもさまざまなオプション、ユニットで構成されている。下記で紹介するのはその中でDC測定ユニットで測定が可能な種類とレンジを紹介する。
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