パワーテスターFATprobeのDC測定ユニット

FATprobeシステムには下記に説明するように色々なユニットがある。その全てがPowerDevice(PowerMOSやIGBT)を測定する為のものだ。ではなぜFATprobeが誕生したか?それは今まで「パッケージでの測定」しか出来ないと思われていたこのパワーデバイス測定を「ウェハー」もしくは「ベアチップ」にて測定できないのか?そのニーズから生まれたといっても過言ではない。ではなぜ今までの測定はウェハーやチップで出来ていないか?それはデバイスの耐エネルギーが大きく、電圧、電流量が大きい為にとてもではないがプローブニードルが持たない。それを解決したのは男プローブ(DC用)であり、カレントリミッターでもある(L負荷測定用)。今回はDC測定のパラメータに関してまずは説明しよう

2008年7月

 

FAT Probeシステムと一言で言っても沢山のユニットから成り立つ。そのユニットとは

■DC測定ユニット
■キャパシタンス測定ユニット
■超微小電流測定ユニット(<1pA)
■Lava測定ユニット
■Lsw・RBSOA測定ユニット
■男プローブ(静特性)ユニット
■Lavaウェハー測定ユニット(CLT)
■オート/セミオートプローバコントロールユニット
■テストフィクスチャーユニット

などがあり、それ以外にもさまざまなオプション、ユニットで構成されている。下記で紹介するのはその中でDC測定ユニットで測定が可能な種類とレンジを紹介する。

 

 



測定項目は これだけ色々とある。これらは測定のモジュールを選択し、ソフトウェア上から選択し、測定パラメータを入力するだけで測定が可能です。オート・セミオートプローバコントロールユニットを搭載することで完全に自動で測定が可能となる。

2008年7月25日現在ではまだ開発・実験中の男プローブはその仕様範囲を〜2000V、〜5A、〜10A、〜20A、〜50A、〜100Aのタイプを開発中。流せる電流量はプローブの先端径(接触面積)によって変化することになる。

実験中の男プローブはホームの
【各種消耗品】Probe/Card/Tools
から参照してみてもらいたい。

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