各種プローバの紹介 |
| 測定研究所では「測定・検査」にフォーカスし、多くのページを紹介している。そこでとても重要になるのが各種に渡る【冶具】である。測定をする際には【必ず】被測定物とテスターをつなぐものが必要になる。それが冶具である。今回はウェハ測定をする際に利用される冶具、プローバの紹介をする。色々な種類があるが、大きく分けて１．ウェハサイズ ２．測定温度帯 ３．電気測定帯 ４．Auto/Manual選択 となる。それらの簡単な紹介をする |
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2008年6月 |
まずは2008年時点で最大ウェハサイズである300mmサイズのプローバである。装置の仕様としては １．300mm対応 となる。ではセミオートプローバとはウェハステージ（チャック）が自動で動くが、オートプローバのようにウェハーの入れ替えは自動ではない。故にセミオートと言われる。 このセミオートプローバの特徴は温度帯域が広い微小電流測定対応と言う事になる。外来ノイズを2重カバーしているのが分かる。チャンバーと呼ばれるチャック周辺のカバー、そしてシールドボックスと呼ばれる外側の大きなカバーである。 |
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左写真はマニュアル型プローバである。装置の仕様は １．200mm対応 となる。ポイントは小型である事とチャンバーで覆われているために微小電流測定が可能になる。 ここから下に色々な種類のプローバを紹介する。 |
 マニュアルプローバ＋温度コントローラ |
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 8式ポジショナー搭載プローバ |
 簡易式マニュアルプローバ |
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測定をする中でもう一つ大切なのはチャックの種類である。チャックとは元々「ウェハを吸い付ける」という意味から命名されているが、実際にはチャックするだけではなく、種類によって温度と測定を大きく左右する。まずは写真を見ていこう。 |
 最高級チャックの表面、精度がとても良い |
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