システム概観

今回のMini-MSRシステムはIV測定、CV測定、そしてWLR測定、パッケージでの測定が出来るようになっている。プローバはセミオートプローバを組み込み、システムは全て内蔵EWS（Engineering Work Station）よりコントロールが可能となっている。

基本的には
■測定条件の設定（各種測定ソフト）
■テストプラン設定（SMUの割当、測定間隔設定等）
■ウェハーマップ設定（ウェハー、サイト、カセット等設定）
■WLR測定実行エンジン（HTX）
■メンテナンスツール（Diag機能、オプション設定等）
に機能が分かれている。

システムラックを開けるとテストフィクスチャーが見える

実際にクローズアップして見てみると引き出し
の中にテストフィクスチャーが入っている。
既にシステムラックの中で配線がされており、
引き出しを開ければ測定が可能になっている。

テストフィクスチャーを上面から見た写真
緑の部分がソケット、上の部分がSMUからの
接続部分で接続先を自由に変更することが可能

ウェハーマップをクリックして作成する