既存プローバーを生かす、ちょっとの改造で設備投資額を減らすソフトウェア

2008年大きな問題が色々起きている。為替の問題で多くの電機メーカーが苦しみ、昨年度から引きずっている米国金融問題、そして誰もが苦しんでいるガソリン問題、と経営者は頭がいたいのが現状だ。その中で【設備投資】という面ではとても苦労する会社や研究機関が多い。【投資削減】や【経費削減】を掲げている部門を多く訪問すると意外な事に【遊休施設】が多いのである。昔買ったプローバを別用途に使いたいがソフトが対応していない・・・昨年新しく設備をそろえたが今年は別用途での利用をしたいが再度プローバの購入までは予算がない・・・ソフトウェアだけでなくハードウェアも改造したいがとても高い・・・そんな困った場合の方法をぜひ提案するのが今回の趣旨だ。
2008年9月

 

新型・旧型に関わらず、右のようなセミオートプローバがあったとしよう、現在はDC測定器と接続され、各種のパラメータが取れるようになっている。特徴は

■セミオートプローバ300mm対応
■ポジショナー4式
■温度調節機能(マニュアル)
■DC測定器との接続

これを研究開発寄りではなく、生産ラインに近いところに持って行きたいがどうするか?という場合、下記のような事は簡単に出来る。

■セミオートプローバ300mm対応
  ⇒測定結果によって面内測定サイト数増減機能
  ⇒測定結果の自動表示、不良率の計算等
  ⇒不良予測ソフトウェア(Streetwise)との同期
■プローブカード装着測定
■自動昇降温
■DC測定器とパルサーとオシロスコープでの切替測定

という対応も取れる。以外にハードウェアは使い回しがきく、というのが現状なのだ。

 

ではどのようなソフトウェアが必要になってくるのか?を紹介しよう。左のようなウェハーマッピングのソフトウェアは世の中に多数存在するが、ティアテックのウェハーマッピングソフトウェア(WMT)は【測定器との接続】や【測定シーケンス】が組める、というフレキシブルさを持っている。

つまり、プローバメーカではプローバをコントロールする部分のソフトは装備をしているが、測定器を制御し、独自のアルゴリズムを埋め込み、そして結果をファイルに表す、という事が出来ない。これでは各社が持っているノウハウを最大限に生かすことは出来ない。

下のキャプチャーはテスト結果マップであり、リアルタイムでの結果を表示していく。合否判定は各社のアルゴリズムをオンデマンドで埋め込む。

 

では、ティアテックでどのようなプローバがコントロールできるのだろうか?今までコントロールしたプローバであれば既にドライバを持っている為、安価にお客様の要望するソフトウェアが構築できる。下にあるプローバ以外にも古いTEL-19Sや20Sシリーズなどのドライバも既に持っているため、まずは電話で確認をしてもらいたい。

持っている測定器やプローバを生かすことでこの業界を乗り切る、という経営者の視点に立ってシステム構築を提案したい。システム構築提案を行っている中で共通して言える事は「毎回違うシステム」「スペシャルシステム」になっていく事だ。半導体各社それぞれノウハウがあり、手法も違う為、話をしながら最大限役に立てる「提案」を今までの経験からしていきたい。

 

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