新型・旧型に関わらず、右のようなセミオートプローバがあったとしよう、現在はDC測定器と接続され、各種のパラメータが取れるようになっている。特徴は
■セミオートプローバ300mm対応
■ポジショナー4式
■温度調節機能(マニュアル)
■DC測定器との接続
これを研究開発寄りではなく、生産ラインに近いところに持って行きたいがどうするか?という場合、下記のような事は簡単に出来る。
■セミオートプローバ300mm対応
⇒測定結果によって面内測定サイト数増減機能
⇒測定結果の自動表示、不良率の計算等
⇒不良予測ソフトウェア(Streetwise)との同期
■プローブカード装着測定
■自動昇降温
■DC測定器とパルサーとオシロスコープでの切替測定
という対応も取れる。以外にハードウェアは使い回しがきく、というのが現状なのだ。
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