拡大をするとこうなっている。 針の進入角はやはりVerticalに近い形で搭載。 材質はW(タングステン)、ReW(レニウムタングステン) BeCu(ベリリウムカッパー)等が利用できる。 ※最近のデジカメはすごいと改めて実感した一枚
最後に通常の4.5インチ、高温(〜350度)対応のプローブカード(シングルサイトプローブカード)を紹介する。
これは高周波デバイスにも対応できるプローブカードで、高温試験に耐えられる構造になっている(エンジェルリングも対応)