パワーデバイス（IGBT、パワーMOS、高電流ダイオードなど）を測定する際に問題となるのが「プローブ」と「チャック」だ。パッケージで測定をしている時は問題ないのだが、現在ウェハーレベルでも測定をしなければ行けない状況にある。いままで測定研究所ではプローブの解決策として「FatProbe」や「男プローブ」を紹介してきた。今回はチャック対策を紹介したい。ポイントになるのは男プローブと同じ「消耗品」として「安価」にソリューションを展開する事だ。下記の写真にあるように色々な材質、デザインを2年以上かけてテストして分かった事は「簡単ではない」事だった。下記のキャリアは全て利用できるがそれぞれに特徴が違う。用途によって使い分けるのが最善。その利用方法はお問い合わせしてもらいたい。