今まで紹介してきたStreetwise™の解析の中で、パラメトリック解析、ジオグラフィック解析、ロットレベルコンポジット解析を行って、見つけるアウトライアをご紹介しましたが、実は温度特性に依存して発見されるアウトライアも存在します。 今日は温度特性に依存したアウトライアを発見するStreetwise™の解析手法である「ドリフト解析」について紹介します。

一般的に、ウエハテストでは、常温、高温、低温等、温度を変えてテストすることによって、それぞれの温度でのデバイスの温度特性を見たりします。
このテストでもテストリミットを設けて、そのテストリミットから外れたデバイスを不良デバイスとして判定します。
しかし、高温と常温のテストを見比べた際に、左図のようにテストリミットには収まっているけれども、常温時と高温時のテスト結果の差が大きなデバイスがあったりします。
これらのデバイスは温度依存のアウトライアとして、その危険度によっては、不良デバイスとして取り除くべきものなのですが、テストリミット内に収まってしまっているために通常のパラメトリック解析のアルゴリズムでは発見することができません。

そこで、Streetwise™には２つのテストフロー（高温のテストフローや常温のテストフロー等）でのテスト結果の違いを調べる為のドリフト解析という手法があります。
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このドリフト解析で行っていることは、二つのテストのテスト結果を見比べて、 そのテスト結果の差分がある一定の値（ユーザーがレシピ内で設定するスレッシュホールド）を超えると、アウトライアとして判定するという機能です。
これにより、温度依存アウトライアを発見することができるようになりました。

実はこのドリフト解析はStreetwise™バージョン3.5から追加された新機能で、最新のStreetwise™3.6では、さらにマルチサイトシフトアルゴリズムという、マルチサイトプローブカードに対応したアルゴリズムもリリースされています。
Streetwise™では、このように頻繁にバージョンアップがされており、今後も新しいアルゴリズムが随時追加されていく予定ですのでご期待ください。