タイトル画像

極細タングステンプローブ Zyvex NanoEffector Probes


Zyvexでは、今まで紹介してきたナノプロービングシステムで使用するための極細プローブも、自社工場で作成しています。今日はナノスケールでのプロービング用に開発された極細タングステンプローブZyvex NanoEffector Probesを紹介します。

2008年8月

 

65nmトランジスタへプロービング
sProberを使用して65nmトランジスタへプロービングしているNanoEffector Probes(タングステンプローブ)

特許出願中のZyvex NanoEffector Probesは、電気化学的にエッチングされた0.25个離織鵐哀好謄鸞新訃愁錺ぅ筺爾如ICのプロービングや、ナノスケールでの電気/機械システムの研究開発に使用されています。
実は、ナノスケールでのプロービングには2つの大きな問題があります。 それは小さな面(50nmコンタクト)へのプロービングと、狭い配列(パッド間が100nm内で4つの50nmコンタクト)でのプロービング。
ZyvexのNanoEffectorProbesはこれら2つの問題を解消できるよう設計されております。
プローブ先端半径は50nm以下で、非常に小さな面へのプロービングが可能。さらに高アスペクト比を持っており、直径500nmのワークスペース内で8プローブでのプロービング作業が可能です。

   
この極細タングステンプローブはZyvexのナノプロービングシステムを使う事によって、下記のような様々なアプリケーションで活用することが可能です。

  • 電気/機械システムの研究開発
  • ナノ構造の電気的特性評価
  • IC故障解析の電気的特性評価
  • マイクロ及びナノアセンブリ
  • ナノマニュピレーション
  • 表面科学実験

工夫すれば、その他アプリケーションへの活用も可能なので、何か新しいアプリケーションで活用したい場合は一度ご相談ください。

ゲルマニウムへ4ポイントプロービング
ゲルマニウムをNanoEffector Probesを使用して4ポイント電気特性評価をしている図
   
コイル状のカーボンナノチューブを移動
NanoEffector Probeがコイル状のカーボンナノチューブを移動させている図
タングステンプローブ
標準仕様

材質
長さ
軸の直径
有効先端半径
平均先端半径
有効テーパー角度
平均テーパー角度
タングステン純度

:タングステン多結晶ワイヤー
:14nm
:0.25mm
:50nm以下
:40nm
:15度以下
:8度
:99.9%
お問い合わせ・資料請求フォーム
 
・会社名
・部署名
・担当者名
・電話番号
・E-mail
・住所  
・問合せ内容
 

 

Mainページに戻ります