バタフライカーブ試験(メガネ特性)
今回は6ポジショナを持つdProberを使用したバタフライカーブ試験(メガネ特性)についてご説明します。
この試験は6本のプローブを使ってバタフライカーブを得ることで行われる。下図はインバータ2の電圧転送カーブ(VTC)と反転させたインバータ1の電圧転送カーブを同じグラフ上に示すことにより得られる。また、Vddの電圧値を1Vで固定した時のリードとホールドのSNM(スタティックノイズマージン)の値が正方形で示されている。
電圧転送カーブをVddに加える電圧を下げながら測定した際、そこから得られるSNM値によって、検査されているビットの電圧依存特性とデータ保持能力が分かる。