アバランシェ試験

■Vava：アバランシェ電圧
アバランシェを起こしたときのD-S間(C-E間)の電圧

■Iava：アバランシェ電流
アバランシェを起こしたときのD-S間(C-E間)に流れる電流

■EAS(Eava)：単発アバランシェエネルギー
単発アバランシェの波形からエネルギーを算出する。
上記VavaとIavaの積分値

■EAR：連発アバランシェエネルギー
連発アバランシェの波形からエネルギーを算出する。
EASの合計。

Lスイッチング試験

■Tr：上昇時間
ターンオン時にドレイン電流が10%から90%まで上昇するまでの時間
■Tdon：ターンオン時間
ターンオン時にゲート電圧が10%まで上昇した時点からドレイン電流が10%まで上昇するまでの時間

■Tcon：ターンオン時間
ターンオン時にドレイン-ソース間電圧が90%まで下降してからドレイン電流が90%まで上昇するまでの時間

■Tf：下降時間
ターンオフ時にドレイン電流が90%から10%まで下降するまでの時間

■Tdoff：ターンオフ時間
ターンオフ時にゲート電圧が90%下降してからドレイン電流が90%まで下降するまでの時間

■Tcoff：ターンオフ時間
ターンオフ時にドレイン電流が10%まで下降してからドレーン-ソース間電圧が10%まで上昇するまでの時間

■寄生成分のバラつきを抑えたプローブ

FATProbシステムでは上記のような試験をウエハレベルで高電圧/高電流測定が可能である。
特にスイッチング特性を試験する場合は寄生成分のバラつきは命取りである。テスタ、測定回路、プローブなどに十分な配慮が必要だ。次回は寄生成分が測定波形に与える影響について考察してみよう。