-フレキシブルにシステム構築が可能なMSR- |
| MSR（Multi-Site-Reliability）システムは、長期信頼性試験をウェハーレベルで測定できる。
-40度〜300度という広い温度帯において、マルチサイト（多サイト）同時測定が可能である。
測定内容もTDDB・TZDB等のゲート酸化膜評価やHCI・NBTI等のトランジスタ評価、BT等の温度サイクル試験、
EM・SM等の配線評価など、さまざまな試験が可能となっているが、
このMSRシステムの大きな特徴として、フレキシブルにシステムの構築が可能という点である。 プローバ、プローブカード、チャック、その他さまざまな仕様の中から、ご要望に合わせて最適なシステムを提案させていただいている。お客様所有の遊休設備などを組み合わせることができるのも大きな利点であろう。 |
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2008年8月 |
 ■マニュアルプローバ搭載システム概観  |
 ■フルオートシステム概観（上） 写真奥にフルオートプローバが見える。 ■フルオートプローバ上面（左） シールドコネクタパネルでテストヘッドをカバーし、シールド性 を高めている。 |
 ■マニュアルプローバ（6式ポジショナー付き） |
 ■簡易型マニュアルプローバ プローバに関しては測定研究所でも詳しく紹介されています。 |
 ■超低ノイズ対応チャック 値段は高いが、高温時でも非常にノイズが少ない。 |
 ■廉価版チャック 対応温度帯もさまざまなバージョンが用意されている。 |
 ■丸型プローブカード |
 ■角型プローブカード |
プローブカードに関しては測定研究所でも詳しく紹介されています。 |
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ティアテックでは、ベースとなるMSRシステムにさまざまな装置を組み合わせることで、お客様の要望、環境、予算に合った最適なシステム構築を提案させていただいている。 |
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