-測定システムにおける保護回路 その1- |
| ティアテックでは今までさまざまな測定システムをお客様に提供してきました。
その中には複数のSMU（テスター）を搭載したシステムも数多くあります。 複数のSMUを搭載したシステムを組む際、各々のSMUの対応電圧などに注意をしてシステムを組む必要があります。 なぜならば、DUTが測定中に破壊された際に、意図しない電圧がSMUに印加されてしまう場合があるからです。 これらをあらかじめ予測して、測定システム内に保護回路を組まなければいけません。 |
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2008年9月 |
 ■保護回路図 |
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| 上図は、保護回路です。 保護回路を測定回路内に入れる目的は、高電圧測定により、DUTが破壊された場合に、 高電圧対応ではないSMUに高電圧がかからないようにするためです。 上図の保護回路では、単純にHi Force（シグナルライン）に高い抵抗が入っているので、 高電圧対応でないSMUに対し高電圧が印加されてしまう心配はほぼありません。 また、仮に高電圧が印加されてしまった場合には、GuardとCommonの間にあるツェナーダイオードにより、 流れ込む電流は、SMUへ行かず、Commonへ落ちる仕組みになっています。 |
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 ■保護回路を利用した測定回路 |
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| 上図は、保護回路を利用した測定回路です。 Drain-Source間には、高電圧を印加できるSMUの性能分だけの高電圧を印加し、測定をします。 Gateには、高電圧対応でないSMUが接続し、Gate電圧を印加します。 この場合、このDUTが破壊されたとき、Gate-Source間にDrain-Source間で印加されていた高電圧が、そのまま高電圧対応でないSMUに印加される可能性があります。そこで、このGate側のSMUを保護するために、保護回路を挿入します。右の写真が実際の保護回路です。 もし、Gate以外でDUTが破壊され、高電圧が印加されてしまう端子があれば、そこにも保護回路を挿入しておき、SMUを保護する必要があります。 ただし、保護回路を挿入することで測定結果に影響を及ぼしてしまう場合もあります。 次回は保護回路の挿入による影響についてレポートしてみたいと思います。 |
 ■実際の保護回路 |
| ティアテックで扱うシステムの多くが、お客様の要望に合わせた専用のシステムです。ティアテックではあらゆる状況を想定してシステムを組んでいます | |
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