プローブカードの品質が歩留りに大きな影響 |
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ウェハー検査でデバイスの良否を判断するのはICテスター。しかし、良品を不良品としてしまうのはプローブカード。では、プローブカードを良品として判断するものは？ |
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2008年7月 |
プローブカードの信頼性を証明する ProBiltシリーズは、高密度（多ピン12000ピン）、大口径（300ｍｍ、256Chipマルチコンタクト）、高性能（基板上の回路配線等）のプローブカードの検査が容易に行うことできる、人間工学に基づいたデザイン、高精度、省スペースのプローブカードアナライザーです。 |
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テスト項目 ・プローブ位置精度/Aligment ・プローブ平坦度/Planarity ・針跡解析/Scrub Analysis ・先端径/Tip Diamter ・チップ深さ/Tip Depth ・接触抵抗/Contact Resistance ・リーク電流/Leakage ・ODリーク/Over Drive Leakage ・コンデンサリーク/Capacitor Leakage ・ワイヤチェック/Wire Check ・キャパシタンス/Capacitance ・抵抗値/ Resistance ・リレー/Relays ・針圧/Gram Force ・高温テスト/Hot Chuck（オプション） |
プローブカードって？ プローブカードは、ウェハープロセスラインでの最終工程、即ちウェハー検査工程において、ウェハー上に形成されたIC（Chip)を電気的に検査するために用いられるコンタクト治具です。 IC内にあるボンディングパットとIC測定器とを電気的に接続し良否を判定するためのものです。 また今日では、ICの高密度化、高性能化が更に進み、ボンディングパットピッチが30μｍ以下の製品、そしてマルチ測定（256Chipマルチ）とICと同様に高密度化、高性能化、大口径化（300ｍｍ一括コンタクト）と要求が高まる一方です。 したがって、プローブカードの性能によってはIC製造の歩留りに大きく影響を及ぼすだけに、その重要性は高く、プローブカードの信頼性は強く求められております。 |
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ProBiltの役目 ウェハー検査工程においては、プローブカードの依存度かなり高いものとなっております。
メモリーIC検査用プローブカードは、300ｍｍ、256chipマルチサイト、一括コンタクト仕様となっており、価格も１枚当り数千万円という価格です。約12,000ピンものプローブ針が形成されており、1ピンでもコンタクト不良があれば、即歩留りに影響を及ぼします。
また、ドライバーIC検査用プローブカードは、1chip当り同一列上に20μmピッチで600ピン程のプローブ針が並びます。これを4ｃhip（2X2）マルチ プローブカードとなると、3,000ピン近いプローブカードとなります。
こうした条件のプローブカードを、どのように管理していくのか、信頼性をどう保てるのか等、要求を満たすのがプローブカードアナライザーの役目です。 |
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