マニュアルプローバーとは |
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この半導体シンポジウムでは、ウェハーレベルでの測定に関する技術・手法などを紹介しているが、ウェハーレベルの測定には欠かせないのがプローバーだ、今回は特にマニュアルプローバーについて説明する。 |
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2008年8月 |
高精度のフルオートプローバーやセミオートプローバーが出てくる中、なぜマニュアルプローバーの需要は衰えないのか、また今後も益々必要になってくる機種ではないか？
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●ウェハープローバーの種類
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●機構が違うマニュアルプローバー マニュアルプローバーだけが、プロービングする時の機構が違う。フルオート/セミオートはウェハーチャックが上下しプローブ針にコンタクトする。しかしマニュアルプローバーの場合は、ウェハーチャックは上下には動かず、プローブ針側が上下する。これはどう云うことかと言うと、デバイスを顕微鏡で見ながら、プロービングしたいターゲットにコンタクトすることが出来ることだ。フルオートやセミオートでは、ウェハーチャックが上下するため、デバイスにピントが合わない。 |
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| ●マニュアルプローバーの用途 先程述べたようにマニュアルプローバーはウェハーチャックが上下しない。よって微細パターンや素子へのプロービングが容易に出来る。また、欠けウェハーや、ダイシング後のチップへもプロービングが可能だ、そしてステッピングモーターや制御系素子や電源が無いため、ノイズの発信減が無く、より高度な測定が可能なのだ。今後更に微細化が進んでいくため、マニュアルプローバーの需要は落ちる事はない。高性能化して行く測定器の能力を最大限に引き出すことが出来るのがマニュアルプローバーだ。 |
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●オプション 高低温時での微小電流の測定には、ATT社のエアークールチャックがある。このチャックは３軸構造で高絶縁である。昇降温のスピードがとても速く＋25℃→＋300℃までが12分以下、逆に＋300℃→＋25℃までが20分以下である。更に300℃時でのノイズレベルが100ｆA以下の実力を持っている。従来品は昇降温時間はＡＴＴ社の2〜3倍掛かりノイズレベルはnA帯である。要求されているスペックには程遠い。 ティアテックでは、測定器−チャック−プローブ針−プローバと測定内容によって組合せを行うことが出来る。信頼性試験のための高信頼性システムを構築していくのがティアテックの使命と考える。 |
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