KEITHLEY社の4200-SCSは、微小電流測定を測定できる優れた測定器です。この測定器はWindowsベースで動作しており、GPIBを経由していろいろな測定器を制御、データ取得することができます。目的にあったLCRメータを接続し微小電流測定＋LCR測定システムを構築することができます。

■4200に付属するソフトウェア（KITE）
4200には直感的にわかりやすく測定の設定、測定シーケンスの設定を行うGUIソフトウェアが付属します。4200自身のSMUをコントロールするためのGUIで、印加・測定の設定をします（左図）。

■4200から外部装置を制御するには？（KULT）
4200には、上記KITEのほかKULTというC言語ベースでプログラミングできるソフトウェアも付属します。このKULTで外部装置との通信をプログラミングすることによりLCRメータなどの測定器を制御することができます。

ただこのC言語ベースのプログラムにより作成されたモジュールをKITEで呼び出す場合、KITEでIV測定をするときのような直感的なGUIではなく、入力値の表が出てくるだけとなります。

■ティアテックが提供するGUIと測定環境
ウェハ測定を実施する際、オペレータ名やロット番号など測定に関わる情報を測定データに保存しておきたいという要望をいただきます。LCR測定についてはさらに測定値からフラットバンド電圧を計算するなど様々なパラメータ計算が必要となってきます。測定設定そのものをわかりやすいGUIで提供するということだけではなく、このような要望にもお答えしております。また弊社では、IV測定、CV測定を実施するための測定環境をコンサルティングしています。