信頼性といっても多くの信頼性試験があるが、ティアテックで製作したのは「ウェハーレベルデバイス信頼性試験」の分野だ。ソフトウェアは右のパッケージが一つとなっている。
■TDDB:酸化膜信頼性試験
■CV:酸化膜評価
■NBTI(HCI):トランジスタ信頼性試験
■HSSM:高速サンプリングデバイス劣化試験
■WMT:ウェハーマップツール(プローバ設定)
これらのソフトウェアは標準一式になっているが、HOTEIの良い所はこれらを自由に追加できるところになる。つまり、必要な部分だけを購入、が可能になる。また、上記以外のソフトウェアもカスタムで制作可能だ。 |