今までsProber, dProber, nProberとご紹介してきましたが、今回は日本電子社の半導体故障解析装置ビームトレーサー用に特別にデザインされたプローバーであるjProberについてご紹介します。

jProberはZyvexと電子顕微鏡メーカーである日本電子社の共同プロダクトラインですが、この最新のシステムはZyvex社製の超高分解能６探針プローバユニットを日本電子社製の電子顕微鏡JSM7001上で合体させることにより、吸収電流法、電位分布法、電気特性の評価や温度特性の評価を実現させたJEOL 日本電子社　ビームトレーサー（JFAS-7000BT）専用のナノプロービングシステムです。
プローバユニットはdProberと基本的なスペックを共有するものの全てにおいてカスタムデザインされており、これによりJSM7001との相互性が最大に高められたシステムとなっています。

このビームトレーサーシステムはSEM（JSM7001）、最新の6ポジショナー、Zyvexナノマニュピレータ、XYZサンプルステージ、半導体パラメータアナライザ、アンチコンタミネーションシステム、サンプル交換用ロードロック、そして各コンポーネントを総合的にコントロールするカスタム・ソフトウエア、吸収電流パッケージ（JEOL）、温度特性評価パッケージから構成されています。
さらに電気特性評価システムはローノイズ測定用に特別設計されており、200fAの精度の測定を可能とします。

6つのポジショナはｄProberと同様に、それぞれがX,Y,Z方向に12mmの動作範囲で動く粗動作モードと精密なプロービングのためのファインモードがあり、粗動作モードでは100nmの分解能レベルで稼動し、ファインモードは5nmの分解能を誇ります。つまり粗動作モードで目的の位置までサクッと移動して、近くにきたらファインモードで正確にコンタクトすることが可能。さらに、ｊProberのセンターステージだけでなく、SEMのステージも可動するため、コンタクトへプローブを近づけた状態で、ビームシフトの範囲では見ることのできない部分へSEMステージを可動させて移動させることが可能です。

ビームトレーサはjProberを搭載することにより、電気特性評価作業のスループット向上のみならず、温度依存性のある欠陥を特定するため、デバイス温度を変化させながら電気特性を評価するための温度可変ステージを搭載できるよう設計されています。また、６本プローブを用いた、吸収電流系アプリケーションとのインテグレーションも実現し、より多彩な解析アプリケーションをご提供することが可能なシステムになっています。

日本国内でデモを行うことも可能ですので、ご興味がありましたら下記よりお問い合わせください。