200A・2500Vに耐えられるスイッチマトリクスを開発

インテグレーターをやっている中で、半導体メーカーから聞く悩みの多くは「テスト項目を色々高速で測定したい」や「コストを削減」する事だ。それを実現するには色々な方法がある。その一つに測定をする際に色々な装置を組み合わせて測定をする際にそれを自動化、もしくは遊休設備を活用したいというのがある。そこで各種測定器をつないで測定をする為のスイッチングマトリクスが必要になる。パワーデバイス用のマトリクスを探していると、世の中に200A/2500Vまで対応した電気測定用スイッチマトリクスなんてない!と言われた。それ故にハイパワーDCに対応するスイッチングマトリクスを開発した。その紹介をする。

2008年7月

 

   

右の写真を見てもらいたい。これがハイパワーDC測定対応スイッチングマトリクスだ。(左下のクリーム色装置2台)このスイッチングマトリクスはマルチプレクサーとしても利用でき、電圧印加をパラレルで可能とする。簡単な仕様としては

■200A最大印加、
■2500V最大電圧
■1nAのリーク保証
■GPIBもしくはシリアルからの操作可能
■トライアキシャルもしくはコアキシャル選択可能
■スイッチングスピード1ms以下
男プローブによるパワー測定対応

 

このスイッチングマトリクス、一つの仕様を考えることが本当に難しい。理由はユーザーの使い方がまったく違うので最小公倍数を取ることをするととても高価になる。そこで、受注生産の作戦を取った。そうする事によって下記の仕様を自由に変動することができ、オーバースペックによる価格上昇を防いだ。

■入力ポート数(2ch〜24ch)
■出力ポート数(3ch〜48ch)
  ※但しFatProbe接続時は最大出力200ch可能
■コントロールポート(GPIBもしくはシリアル)
■最大電流設定(〜30A、〜100A、〜200A選択)
■最大電圧設定(〜1000V、〜1500V、〜2500V選択)


コントローラー関係をまとめたボックス

 


パワーDC用リレーを敷き詰めたボックス
指定されるチャンネル数によって箱の数が変わる

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