今まで紹介してきた、Zyvexのナノプロービングシステム「sProber」「dProber」「nProber」の説明の中で、低ノイズ測定評価パッケージや温度特性評価パッケージ等のオプションについて少しだけ触れてきました。本日はそのZyvexのナノプロービングシステムに取り付けてアップグレードを行うことのできるオプションについてご紹介したいと思います。

パッケージにはホット／コールドのサンプルステージ、温度コントローラー（Zyvexの主なソフトウエアに組み込まれており、簡単に操作できます）、SEM用にデザインされたフィードスルーフランジ、接続に必要なコネクタが含まれています。
sProberに取り付ける場合は、sProberのZステージをホット／コールドサンプルステージに付け替えて使用します。また、dProber、nProberに取り付ける場合は、dProber、nProberのX,Y,Zサンプルステージにマウントして使用します。
このホット／コールドサンプルステージは簡単に取り付け取り外しが可能です。
このZyvexの温度特性評価パッケージはSEM内での温度特性解析におけるコンプリートソリューションです。