今までsProber, dProber, nProber, jProberと半導体故障解析に特化したナノプロービングシステムを紹介しましたが、電気特性はしないので、マニピュレータだけ欲しい！！、プローブは2本程度使えれば十分！という声に答えられるよう、コストの安いマニピュレータが登場しました。今日はそのご紹介をしたいと思います。

S200ナノマニピュレータシステムは、マイクロからナノスケールの研究、開発、生産でよく使われる走査型電子顕微 鏡（SEM）やFIBに併用されるマニピュレーション＆テストツールです。
従来のZyvexの製品では半導体テスト評価に必要なパラメータアナライザ等がセットとなったパッケージシステムでしたが、S200はマニピュレータの部分のみ欲しいというお客様のために用意された装置です。

S200はプローブを保持するポジショナをお客様のご要望に応じて1〜4本まで増設可能。さらにアンチコンタミネーションシステムや、マイクログリッパー、吸収電流測定パッケージ、温度特性評価パッケージ等、Zyvexの持つ様々なオプションを増設することができるので、まさにお客様に必要な機能だけをカスタマイズしたナノマニピュレータとしてご利用いただけます。

Zyvexのオプションに関してはこちらへ↓
オプション１
オプション２

S200はオプションと組み合わせることにより、下記のような様々なアプリケーションに対応することが可能です。

• ４極トランジスタプロービング
• SRAMトランジスタビットセル安定性試験
• トランジスタ解析
• メタル１層レベルプロービング
• コンタクトレベルプロービング
• 温度特性評価
• EBIC／吸収電流像観察
• CV測定
• ナノストラクチャ／ナノマテリアル／ナノ相互接続の研究開発　　
• 表面化学実験
• ナノスケールでのアセンブリ／ベーシックマニピュレーション

S200は既存のSEMに取り付け、取り外しが可能で、必要な機能をお客様がチョイスすることができるため、非常にリーズナブルでありながら、Zyvexのナノプロービング技術の性能を損なうことなく活用できる、安いけど高性能なシステムなのです。